发明专利已授权

一种基于衬底集成波导重入式谐振腔和六端口干涉网络的湿度传感器

📄 申请号：CN202211211019.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2022-09-30

公开号

CN115541669B

公开日

2025-04-25

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_22

IPC 分类号

G01N27_22

技术画像

所属领域

湿度传感器微波传感器衬底集成波导微波谐振腔湿度传感器

应用场景

环境监测, 工业过程控制, 农业监测, 仓储物流, 智慧城市

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摘要

一种基于衬底集成波导和六端口干涉网路的湿度传感器，包括无源谐振腔和六端口干涉电路。无源谐振腔由纵向叠加的三层介质基板构成，顶层的无金属化通孔、中间层的空气填充型介质以及底层的电容柱金属化通孔所形成的紧凑结构使得湿空气在谐振腔内的流通性大大增强，从而使湿空气中的水分子能更充分地附着于谐振腔内并与凹槽中的湿敏材料发生充分的反应。介质基板的底层金属设计有共面波导馈电结构，连接外部六端口干涉电路。六端口干涉电路由功分器、耦合器、移相器、谐振腔构成。信号从功分器馈入，等功率等相位分配给参考和传感两条支路，通过加载谐振腔带来的不同相位信息，通过调节移相器，使两条线路形成干涉，从而实现高灵敏度的湿度传感测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

多排浮动组合式重载超越离合器

当前第 / 件

从黄连提取母液中提取甲基小檗碱的方法、由其制备的高纯度甲基小檗碱及应用

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