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一种基于衬底集成波导和六端口干涉网路的湿度传感器，包括无源谐振腔和六端口干涉电路。无源谐振腔由纵向叠加的三层介质基板构成，顶层的无金属化通孔、中间层的空气填充型介质以及底层的电容柱金属化通孔所形成的紧凑结构使得湿空气在谐振腔内的流通性大大增强，从而使湿空气中的水分子能更充分地附着于谐振腔内并与凹槽中的湿敏材料发生充分的反应。介质基板的底层金属设计有共面波导馈电结构，连接外部六端口干涉电路。六端口干涉电路由功分器、耦合器、移相器、谐振腔构成。信号从功分器馈入，等功率等相位分配给参考和传感两条支路，通过加载谐振腔带来的不同相位信息，通过调节移相器，使两条线路形成干涉，从而实现高灵敏度的湿度传感测量。

本发明公开了一种柔性电容式湿度传感器，其特征在于：包括柔性衬底（1）、电极（2）和湿敏材料层（4）；所述电极（2）设置在柔性衬底（1）的一个表面上，柔性衬底（1）相对的另一个表面上设置有湿敏材料层（4），电极（2）和湿敏材料层（4）通过柔性衬底（1）隔开；所述电极（2）由导线引出。本发明柔性电容式湿度传感器，采用背面涂覆敏感材料的方式，以及电极保护层的设置，既能防止电极吸附水气之后被氧化，又能防止电极吸附水气对测量造成误差，提高测量的准确性，延长传感器的使用寿命，增强传感器的稳定性；同时所采用的PET材料柔软度好，可以任意弯曲，适用于多个领域。

本发明公开了一种柔性自供能湿度传感器及其制备方法，包括多孔压电复合膜的制备和自供能湿度传感器的组装。压电聚合物和纳米材料组成的混合物经超声、磁搅拌，旋涂成膜，高温退火，再经低温淬火后制得多孔压电复合膜；将多孔压电复合膜与微米孔隙状的柔性电极组装成三明治结构的自供能湿度传感器。该湿度传感器具有柔性、多孔、亲水和压电特性，可进行自供能。该传感器的电压响应与湿度之间呈现较好的线性关系和灵敏度，检测范围可实现全覆盖。而且，该传感器结构简单，成本低廉，适合大规模生产应用。