实用新型已授权

一种集成电路芯片制造用废气处理设备

📄 申请号：CN202421574204.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2024-07-04

公开号

CN222624035U

公开日

2025-03-18

申请人

江苏拓库特科技发展有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01D46_88

IPC 分类号

B01D46_88 , B01D46_42 , B01D46_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备废气处理环保设备

应用场景

集成电路制造, 半导体工艺废气处理, 芯片制造厂环保, 洁净室排气净化

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摘要

本实用新型公开了一种集成电路芯片制造用废气处理设备，包括废气处理设备本体，所述废气处理设备本体的左侧开设有进风口，本实用新型通过首先将需要处理的废气与进风口进行连接，然后启动废气处理设备本体对废气进行处理，在更换过滤板时，停止废气处理设备本体将需要处理的废气与进风口断开，然后通过圆杆将限位块向外侧旋转，通过把手将过滤板取出更换即可，通过警报灯和急停按钮的设置，能够在废气处理设备本体发生故障时，第一时间关闭废气处理设备本体，达到了便于更换的效果，该集成电路芯片制造用废气处理设备，具备了便于更换的优点，同时避免用螺钉进行固定连接，在拆卸时会影响下一次的使用的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250408

?? 专利权的转移：

20250318

✅ 授权

一种节能的电梯指示灯

当前第 / 件

一种分体式汽车五金冲压件

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