发明专利已授权

一种利用坩埚旋转强制驱动粘附气泡的方法

📄 申请号：CN202410279226.3 📄 发布日：2026/07/24

著录项目信息

申请日

2024-03-12

公开号

CN118127643A

公开日

2024-06-04

申请人

西安交通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B35_00

IPC 分类号

C30B35_00 , C30B29_40 , G16C20_10 ,

技术画像

所属领域

材料制备工艺材料制备工艺坩埚熔炼气泡去除技术

应用场景

金属冶炼, 晶体生长, 半导体材料制备, 高纯材料制备

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摘要

本申请提供了一种利用坩埚旋转强制驱动粘附气泡的方法，属于晶体生长技术领域，旨在为坩埚旋转驱除晶体生长过程中的气泡提供指导，所述方法包括：根据熔体和坩埚的尺寸结构参数，构建气泡运动模型；在所述气泡运动模型的坩埚的垂直壁面和倾斜壁面设置气体入口，并通过所述气泡运动模型模拟坩埚旋转驱动所述气泡运动的过程；采用多个坩埚转速分别驱动所述气泡运动模型中的熔体与不同壁面之间不同接触角的气泡，并通过控制气体的注入时间调整所述气泡的等效直径，直至所述气泡发生定向滑移运动；根据多个所述坩埚转速对应的临界滑移参数，获取坩埚旋转对每个接触角的气泡的运动的控制规律；根据所述控制规律，利用所述坩埚旋转强制驱动所述熔体中的气泡运动。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种利用行波磁场强制驱动粘附气泡的方法

当前第 / 件

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