发明专利已授权

还原氧化石墨烯薄膜湿敏传感器的制备方法

📄 申请号：CN201610813060.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2016-09-09

公开号

CN106442629B

公开日

2018-12-25

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_00

IPC 分类号

G01N27_00

技术画像

所属领域

石墨烯薄膜传感器技术石墨烯材料薄膜制备石墨烯薄膜

应用场景

环境湿度监测, 工业过程控制, 智能家居, 农业大棚, 可穿戴设备

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摘要

本发明提供了一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法，通过简单的将还原氧化石墨烯抽滤成膜再转印到柔性的聚甲基硅氧烷(PDMS)衬底上，然后经磁控溅射镀上叉指电极，组装到面包板上，连接内外引线，便得到简易的湿敏传感器。该湿敏传感器能将湿度信号转化成电信号，对人体呼吸行为也能做出快速响应，这对将来用于检测呼吸系统疾病具有重要意义。该还原氧化石墨烯湿敏传感器制备方法条件温和，简单易行，工艺参数可控，成本低廉，可重复性高，具有广阔的应用前景。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

双层还原氧化石墨烯薄膜柔性应变传感器的制备方法

当前第 / 件

一种三阶非自治的非线性混沌电路

同领域国内专利 · IPC: (G01N27_00)

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