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一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法

📄 申请号：CN201610982564.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2016-11-09

申请人

青岛科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C25D9_06

IPC 分类号

C25D9_06 , C25D11_26 ,

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜材料电化学工艺无机非金属材料

应用场景

电子元器件, 铁电存储器件, 介电电容器, 传感器, 光催化

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摘要

本发明提供了一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法，包括下列顺序步骤：(1)将金属钛片在室温下进行酸洗；(2)将酸洗后钛片用去离子水清洗干净，以金相砂纸打磨至表面呈金属光泽，分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗，经去离子水清洗后干燥备用；(3)将上述钛片浸入到含NH4F、去离子水的乙二醇溶液中，以钛片为阳极，铂电极为阴极，室温下施加直流电进行阳极氧化；(4)以阳极氧化后钛片为阳极，铂电极为阴极，Sr(NO3)2溶液为电解液，室温下施加直流电进行反应；(5)电化学反应完成后，将样品取出，用去离子水清洗干净，再经热处理后，得到钛酸锶SrTiO3薄膜。该方法简单，钛酸锶薄膜的厚度，结构易于控制，且可以实现大面积钛酸锶薄膜的批量制备。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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