发明专利 已授权

一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法

📄 申请号:CN201610982564.9 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2016-11-09
申请人
青岛科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

电子元器件, 铁电存储器件, 介电电容器, 传感器, 光催化

摘要

本发明提供了一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法,包括下列顺序步骤:(1)将金属钛片在室温下进行酸洗;(2)将酸洗后钛片用去离子水清洗干净,以金相砂纸打磨至表面呈金属光泽,分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗,经去离子水清洗后干燥备用;(3)将上述钛片浸入到含NH4F、去离子水的乙二醇溶液中,以钛片为阳极,铂电极为阴极,室温下施加直流电进行阳极氧化;(4)以阳极氧化后钛片为阳极,铂电极为阴极,Sr(NO3)2溶液为电解液,室温下施加直流电进行反应;(5)电化学反应完成后,将样品取出,用去离子水清洗干净,再经热处理后,得到钛酸锶SrTiO3薄膜。该方法简单,钛酸锶薄膜的厚度,结构易于控制,且可以实现大面积钛酸锶薄膜的批量制备。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C25D9_06)

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