发明专利 已授权

一种高真空容积泵宽头转子

📄 申请号:CN201710133399.4 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2017-03-08
公开号
CN107061271B
公开日
2020-06-23
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 光伏生产, 真空冶金, 化工制药

摘要

本发明公开了一种高真空容积泵宽头转子,现有凸轮泵技术中,由于泵体与转子密封为线密封,转子、泵体磨损后易造成真空能力下降。本发明的高真空容积泵宽头转子端面为轴对称结构,其端面1/4型线由3个部分组成:顶端宽头圆弧AB、过渡曲线BD、中间圆弧DE,转子由金属骨架和橡胶包裹而成;所述的宽头转子顶端宽头圆弧AB和中间圆弧DE是两条共轭曲线。本发明有效增大高真空容积泵的工作压力范围,保证输送压力持久稳定性,降低脉动,提高工作效率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (F04C18_12)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:27 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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