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发明专利
已授权
一种高真空容积泵宽头转子
📄 申请号:CN201710133399.4
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2017-03-08
公开号
CN107061271B
公开日
2020-06-23
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
F04C18_12
IPC 分类号
F04C18_12
,
F04C18_16
,
F04C25_02
,
C08L9_02
,
C08L91_00
,
C08K13_04
,
C08K7_02
,
C08K3_06
,
C08K5_09
,
C08K3_22
,
C08K3_04
,
技术画像
所属领域
容积泵
容积泵
真空泵
转子型线
应用场景
半导体制造, 真空镀膜, 光伏生产, 真空冶金, 化工制药
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摘要
本发明公开了一种高真空容积泵宽头转子,现有凸轮泵技术中,由于泵体与转子密封为线密封,转子、泵体磨损后易造成真空能力下降。本发明的高真空容积泵宽头转子端面为轴对称结构,其端面1/4型线由3个部分组成:顶端宽头圆弧AB、过渡曲线BD、中间圆弧DE,转子由金属骨架和橡胶包裹而成;所述的宽头转子顶端宽头圆弧AB和中间圆弧DE是两条共轭曲线。本发明有效增大高真空容积泵的工作压力范围,保证输送压力持久稳定性,降低脉动,提高工作效率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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📋 交易方式:
委托待转让
📌 交易状态:
在售
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📋 项目申报:
未申报
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