发明专利 已授权

一种稳定的双波长实时干涉显微装置及其使用方法

📄 申请号:CN201710609551.1 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2017-07-25
公开号
CN107449361B
公开日
2023-03-14
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

生物医学显微成像, 材料表面检测, 微纳结构测量, 医疗器械, 科学研究

摘要

本发明涉及一种稳定的双波长实时干涉显微装置及其使用方法。本发明采用的技术方案包括依次沿光轴方向设置的激光器一、偏振片一、宽带消偏振分光棱镜一、扩束准直器、宽带消偏振分光棱镜二、消色差透镜、长工作距离显微物镜、宽带消偏振分光棱镜三和样品,激光器二垂直设置于宽带消偏振分光棱镜一之上,之间设置有偏振片二;CCD相机垂直设置于宽带消偏振分光棱镜二之上,宽带偏振分光棱镜与宽带消偏振分光棱镜三垂直设置,反射镜一和反射镜二设置于宽带偏振分光棱镜相垂直的两个面上。该装置基于长工作距离显微物镜和小型的双波长分光单元,CCD相机可以实时记录两个波长对应的、条纹相互正交的离轴干涉图,通过傅立叶变换算法得到被测样品的相位分布。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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