发明专利 已授权

一种纳米通道中气体流动特征的实验方法

📄 申请号:CN201711353810.5 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2017-12-15
公开号
CN108267385B
公开日
2020-10-02
申请人
浙江海洋大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

微纳传感器, 气体分离, 芯片实验室, 纳米流体器件, 科学研究实验

摘要

本发明涉及一种能够实现亚微米-纳米尺度下对气体流动进行实验研究、操作简便的纳米通道中气体流动特征的实验方法,所述纳米通道中氮气流动特征的实验方法包括以下步骤:测量孔径和孔密度,选择气源,连接各管道及线路,利用夹具和胶圈对通道束薄膜进行密封,进行阶梯性试验并且对实验测量结果进行记录和整理,检查通道束薄膜是否有发生破损,若无发生破损则数据有效。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20201002
✅ 授权
20180803
?? 实质审查的生效 :
20180710
📄 公开

同领域国内专利 · IPC: (G01N11_00)

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