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发明专利
已授权
一种半导体硅片切割用粘结材料
📄 申请号:CN201810337084.6
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2018-04-16
公开号
CN108822780B
公开日
2021-06-01
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C09J163_00
IPC 分类号
C09J163_00
,
C09J181_02
,
C09J177_00
,
C09J11_06
,
C09J11_04
,
技术画像
所属领域
硅片切割
半导体材料
粘结材料
切割工艺
硅片切割
应用场景
半导体硅片切割, 晶圆制造, 电子器件加工
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摘要
本发明公开一种半导体硅片切割用粘结材料。本发明组分包括环氧树脂、增韧剂、填料、偶联剂、吸水性材料、聚硫醇、聚酰胺、填料、颜料。本发明采用吸水放热性材料氧化钙加入到环氧粘胶中,当这种环氧胶粘结的树脂板与钢工件板需要在常温水中浸泡时,由于吸水放热性材料氧化钙能吸收大量水分并放热使环氧粘胶失效,因而树脂板与钢工件板在常温水中能容易分开。本发明材料环保,对工作人员的伤害极大的降低;相比于现有技术,能实现在常温水下快速使环氧粘胶失效。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
芳茂铁苦味酸盐离子化合物及其制备方法
当前第 / 件
基于感应制冷的动态多温区应用方法
同领域国内专利 · IPC: (C09J163_00)
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覆盖
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委托待转让
📌 交易状态:
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