发明专利已授权

集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构

Name: 集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构
Brand: 杭州电子科技大学
SKU: 2018108411467
Availability: InStock

📄 申请号：CN201810841146.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-07-27

公开号

CN108982905B

公开日

2021-09-07

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P5_00

IPC 分类号

G01P5_00 , G01P13_02 , G01L1_00 , G01N33_00 ,

技术画像

所属领域

缓冲结构 MEMS传感器微流体器件气体流量传感器缓冲结构

应用场景

气体流量计量, 工业过程控制, 环境监测, 汽车传感器, 医疗呼吸设备

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摘要

本发明公开了一种集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构。本发明在流量传感器薄膜外围设有多个均匀分布的铂金属片，其用于气体检测流量；在两相邻的铂金属片之间有障碍物，所述的障碍物围绕集流量传感器薄膜也呈均匀分布，其高度大于铂金属片高度，用于降低气体的流速。本发明通过障碍物降低外界气体流过传感器薄膜的流速，减小了气体流动对加热器温度变化的影响，使得传感器的稳定性得到了提高，集成的流量传感器更好的反馈出了气体流过传感器薄膜时的流速。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种水样中有效硼的提取纯化方法和一种硼同位素组成的测试方法

当前第 / 件

一种基于点集体素的多质分界面提取方法

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