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一种光刻二元谐衍射Alvarez透镜变焦系统的方法

Name: 一种光刻二元谐衍射Alvarez透镜变焦系统的方法
Brand: 杭州电子科技大学
SKU: 2018108423498
Availability: InStock

📄 申请号：CN201810842349.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-07-27

公开号

CN109061781B

公开日

2020-05-26

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B3_08

IPC 分类号

G02B3_08 , G02B5_18 , G02B15_00 , G02B27_00 , G03F7_20 ,

技术画像

所属领域

衍射光学元件衍射光学元件变焦光学系统微纳加工工艺

应用场景

光学成像, 激光加工, 精密光学仪器, 光通信, 消费电子

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摘要

本发明一种光刻二元谐衍射Alvarez透镜变焦系统的方法，本发明先确定谐衍射Alvarez透镜的面型，接着确定一阶掩模位置并光刻，最后确定高阶掩模位置并光刻，保留了Alvarez透镜组原有的特征，即且第二Alvarez透镜相对于第一Alvarez透镜沿垂直于光轴方向移动，所述Alvarez透镜组的焦距会发生改变，并且相对于衍射光学元件，二元谐衍射Alvarez透镜变焦系统具有高精度高效率的特点；本发明加工工艺简单，精度远比常规光学加工的精度高。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN109061781B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：91 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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