发明专利已授权

一种喷墨打印中微纳结构形貌实时监测光路系统

📄 申请号：CN201910207498.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-03-19

申请人

珠海市满芯电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_30

IPC 分类号

G01B11_30

技术画像

所属领域

实时监测光学检测喷墨打印微纳制造实时监测

应用场景

工业在线检测, 喷墨打印质量控制, 微纳结构形貌监测, 增材制造过程监测

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摘要

本发明属于印刷电子技术领域，涉及一种喷墨打印中微纳结构形貌实时监测光路系统，激光器发出的光束经过衰减器调节光束能量，光束透过打印样品后依次经过第一凸透镜和第二凸透镜，光线最终汇聚于CCD摄像头，CCD摄像头与外接的电脑相连，通过电脑实时观察到打印样品上的打印结构，根据所选凸透镜的焦距不同，电脑观察到的结果为打印结构按比例缩放的图像；其光路简单直观，元器件方便可调，原理可靠，操作便捷，易于实现，可广泛应用于各种基于喷墨打印技术的微纳结构和电子制造领域。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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