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发明专利
已授权
一种模块化宏微结合的三自由度微夹持平台及其使用方法
📄 申请号:CN201910779993.X
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2019-08-22
申请人
陕西科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
B25J7_00
IPC 分类号
B25J7_00
技术画像
所属领域
微夹持技术
微夹持技术
精密定位平台
柔顺机构
应用场景
微装配, 微操作, 精密制造, 生物细胞操作, 光学对准
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摘要
本发明提出了一种模块化宏微结合的三自由度微夹持平台,使用时,先通过宏动平台模块进行大行程运动,然后再通过微动平台模块进行高精度定位。第一直线电机和第二直线电机能够实现x方向的大行程运动,第三直线电机和第四直线电机能够y方向的大行程运动;x、y、z三个自由度方向的线性位移器能实现微动平台模块在x、y、z三个自由度方向的高精度定位,误差小,精度高。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种氮掺多孔纳米片硅碳复合材料及其制备方法和应用
当前第 / 件
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同领域国内专利 · IPC: (B25J7_00)
B25J7_00
覆盖
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未申报
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