发明专利已授权

一种光电式微位移测量装置

📄 申请号：CN202010016539.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-01-08

公开号

CN111174707A

公开日

2020-05-19

申请人

苏州科晓电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02 , B08B1_04 , B08B5_02 , B08B13_00 ,

技术画像

所属领域

测量装置光电检测微位移测量精密测量测量装置

应用场景

精密制造, 工业自动化, 半导体设备, 精密机械加工, 科研实验

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摘要

本发明属于微位移测量技术领域，具体的说是一种光电式微位移测量装置，包括安装板，所述安装板底端固定有两个矩形板，所述矩形板之间转动安装有螺杆和限位杆，所述螺杆和限位杆表面活动连接有滑块，所述滑块顶端固定有伺服电机，所述滑块的侧壁上转动连接有转轴，所述转轴远离滑块的一端固定有激光位移传感器，所述伺服电机通过同步带与转轴转动连接，所述转轴表面固定有一号斜齿轮，所述滑块的侧壁转动安装有二号斜齿轮；本发明通过机械控制的方式提高了激光位移传感器的精度，使得激光位移传感器的测量更加精准，避免人工调节存在的误差，不仅减少了人工成本，同时提高了测量的精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210622

✅ 授权

20200612

?? 实质审查的生效：

20200519

📄 公开

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