发明专利已授权

一种基于内环分离PI模型的压电驱动器迟滞补偿方法

📄 申请号：CN202010342808.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-04-27

公开号

CN111487862B

公开日

2023-06-16

申请人

沈阳建筑大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05B11_42

IPC 分类号

G05B11_42

技术画像

所属领域

压电驱动器压电驱动控制迟滞补偿控制算法压电驱动器

应用场景

精密定位, 微纳制造, 光学调整, 工业自动化, 精密测量

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摘要

本发明的一种基于内环分离PI模型的压电驱动器迟滞补偿方法，建模部分依然采用参数少可求逆的经典PI模型，使用了逻辑比较判断的方法对多内环迟滞特性进行了内环分离，再对分离的各内环迟滞特性逐个求逆模型，并辅以前馈控制手段达到补偿非线性特征的目的。本发明具有很高的补偿控制精度，其判断方法逻辑清晰简单，容易分离出迟滞内环，在满足迟滞内环高精度控制需求的同时也提高了迟滞外环精度。本发明的控制方法可以应用于以压电驱动器为运动输出的精密机械中，消除了压电陶瓷等材料在使用中因为逆压电效应迟滞特性产生的影响，具有良好的普适性与发展前景。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于层板结构的冷却水套和电主轴

当前第 / 件

一种同步触发脉冲产生电路

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G05B11_36 G05B11_42 覆盖2个领域

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