发明专利已授权

一种多曝光散射信号融合的表面粗糙度测量方法

📄 申请号：CN202010608326.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-06-29

公开号

CN111707221B

公开日

2021-11-16

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_30

IPC 分类号

G01B11_30

技术画像

所属领域

表面粗糙度测量光学测量表面计量信号融合处理表面粗糙度测量

应用场景

精密加工质量检测, 工业自动化, 智能制造, 光学元件检测, 半导体制造

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摘要

本发明公开一种多曝光散射信号融合的表面粗糙度测量方法由激光器发出的光经过会聚透镜、光阑和会聚透镜后形成会聚光，入射到超光滑光学元件表面，经过样品表面反射后形成反射光，进入CCD，同时，反射光附近区域的散射光也进入CCD，对同一位置处采集不同曝光时间的图像，使远离反射光束和靠近反射光束的地方都具有高的分辨率；通过区域特性量测的融合算法对不同曝光时间的散射分布图像进行融合，形成具有大动态范围的散射分布图像，之后建立了散射分布图像与表面粗糙度之间的关系模型，最后通过计算得到被测表面的粗糙度值。本发明克服了现有技术存在的采集单幅散射图像计算被测表面粗糙度时的对比度较低、图像动态范围小和测量精度不高的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种FDM型3D打印机送丝机构流量监测方法

当前第 / 件

一种模型蒸馏方法、装置、电子设备及存储介质

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_30)

G01B11_00 G01B11_02 G01B11_03 G01B11_04 G01B11_06 G01B11_08 G01B11_12 G01B11_14 G01B11_16 G01B11_22 G01B11_24 G01B11_245 G01B11_25 G01B11_255 G01B11_26 G01B11_27 G01B11_275 G01B11_28 G01B11_30 覆盖19个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：21 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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