发明专利 已授权

基于TSV的非对称串列形交叉耦合滤波器

📄 申请号:CN202111600630.9 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2021-12-24
申请人
西安理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

5G通信, 射频前端, 微波通信, 集成电路封装

摘要

本发明公开了一种基于TSV的非对称串列形交叉耦合滤波器,包括沿水平方向平行设置的上层RDL和下层RDL,上层RDL与下层RDL之间设有硅基衬底,硅基衬底上分布有六个由TSV构成的谐振腔,六个谐振腔分别与上层RDL和下层RDL配合形成正耦合与负耦合结合的交叉耦合。采用本发明能够实现在太赫兹频段下的滤波功能。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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