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发明专利
已授权
一种蛋清薄膜及可降解有机-无机薄膜晶体管的制备方法
📄 申请号：CN202211039449.X
📄 发布日：2026/07/23
著录项目信息
申请日
2022-08-29
公开号
CN115322423B
公开日
2023-04-18
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C08J7_00
IPC 分类号
C08J7_00
,
C08J5_18
,
C08L89_00
,
H10K10_46
,
H10K10_82
,
H10K85_10
,
H10K71_00
,
技术画像
所属领域
薄膜晶体管
薄膜晶体管
有机半导体器件
可降解电子材料
应用场景
柔性电子, 生物可降解电子器件, 显示驱动, 传感器
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摘要
本发明涉及一种蛋清薄膜及可降解有机‑无机薄膜晶体管的制备方法。蛋清薄膜的制备包括蛋清前驱液的制备；基片清洗与表面活化；蛋清薄膜的制备。可降解有机‑无机薄膜晶体管的制备包括醇基高k氧化物前驱液与水基TMOS前驱液的制备；蛋清薄膜的表面活化；醇基高k氧化物薄膜的制备；醇基高k氧化物薄膜的表面活化；水基TMOS薄膜的制备；源、漏电极的制备。本发明一方面获得大面积均匀的高k蛋清薄膜，另一方面借助醇基高k氧化物薄膜提高蛋清薄膜与水基TMOS薄膜间的制备兼容性，实现基于蛋清薄膜‑高k氧化物薄膜‑TMOS薄膜的全溶液可降解有机‑无机薄膜晶体管的制备，该薄膜晶体管展现出生物兼容、可降解、低成本、低温制备，低压驱动、低功耗的特点。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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📌 交易状态：
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未申报
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