发明专利 已授权

一种蛋清薄膜及可降解有机-无机薄膜晶体管的制备方法

📄 申请号:CN202211039449.X 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2022-08-29
公开号
CN115322423B
公开日
2023-04-18
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

柔性电子, 生物可降解电子器件, 显示驱动, 传感器

摘要

本发明涉及一种蛋清薄膜及可降解有机‑无机薄膜晶体管的制备方法。蛋清薄膜的制备包括蛋清前驱液的制备;基片清洗与表面活化;蛋清薄膜的制备。可降解有机‑无机薄膜晶体管的制备包括醇基高k氧化物前驱液与水基TMOS前驱液的制备;蛋清薄膜的表面活化;醇基高k氧化物薄膜的制备;醇基高k氧化物薄膜的表面活化;水基TMOS薄膜的制备;源、漏电极的制备。本发明一方面获得大面积均匀的高k蛋清薄膜,另一方面借助醇基高k氧化物薄膜提高蛋清薄膜与水基TMOS薄膜间的制备兼容性,实现基于蛋清薄膜‑高k氧化物薄膜‑TMOS薄膜的全溶液可降解有机‑无机薄膜晶体管的制备,该薄膜晶体管展现出生物兼容、可降解、低成本、低温制备,低压驱动、低功耗的特点。

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C08J7_00)

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