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发明专利
已授权
一种基于GeSbTe相变材料的薄膜器件
📄 申请号:CN201610962686.1
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2016-10-28
公开号
CN106374045B
公开日
2018-09-21
申请人
广东石油化工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L45_00
IPC 分类号
H01L45_00
技术画像
所属领域
相变材料
相变材料
相变存储技术
半导体存储器件
应用场景
数据存储, 非易失性存储器, 嵌入式存储, 可擦写光存储, 存储芯片
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摘要
本发明公开了一种基于GeSbTe相变材料的薄膜器件,包括衬底层、下电极层、第一GeSbTe材料层、二硫化钼层、第二GeSbTe材料层、石墨烯层、上电极层和保护层,所述下电极层、第一GeSbTe材料层、二硫化钼层、第二GeSbTe材料层、石墨烯层、上电极层、保护层依次沉积叠加在所述衬底层上,所述第一GeSbTe材料层为离子掺杂的GeSbTe相变材料层,所述第二GeSbTe材料层为纯相的GeSbTe相变材料。本发明的基于GeSbTe相变材料的薄膜器件具有热稳定性高、一致性好、相变速度快和使用寿命长特点。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种用于高粘度油品的减压蒸馏实验装置
当前第 / 件
顾及形态精度的地形高程采样点加密方法
同领域国内专利 · IPC: (H01L45_00)
H01L45_00
覆盖
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📌 交易状态:
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