发明专利 已授权

一种基于GeSbTe相变材料的薄膜器件

📄 申请号:CN201610962686.1 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2016-10-28
公开号
CN106374045B
公开日
2018-09-21
申请人
广东石油化工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

数据存储, 非易失性存储器, 嵌入式存储, 可擦写光存储, 存储芯片

摘要

本发明公开了一种基于GeSbTe相变材料的薄膜器件,包括衬底层、下电极层、第一GeSbTe材料层、二硫化钼层、第二GeSbTe材料层、石墨烯层、上电极层和保护层,所述下电极层、第一GeSbTe材料层、二硫化钼层、第二GeSbTe材料层、石墨烯层、上电极层、保护层依次沉积叠加在所述衬底层上,所述第一GeSbTe材料层为离子掺杂的GeSbTe相变材料层,所述第二GeSbTe材料层为纯相的GeSbTe相变材料。本发明的基于GeSbTe相变材料的薄膜器件具有热稳定性高、一致性好、相变速度快和使用寿命长特点。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (H01L45_00)

H01L45_00 覆盖1个领域
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:18 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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