发明专利已授权

一种高稳定性低湿度检测的QCM湿度传感器及其制备方法

📄 申请号：CN201710637394.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-07-31

公开号

CN107290392B

公开日

2023-07-18

申请人

成都信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_04

IPC 分类号

G01N27_04 , G01N27_22 ,

技术画像

所属领域

传感器技术传感器技术石英晶体微天平湿度检测

应用场景

半导体制造, 环境监测, 工业过程控制, 低湿度计量, 科研实验

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种高稳定性低湿度检测的QCM湿度传感器，包括压电晶片、金属电极和湿度敏感薄膜层；所述压电晶片表面设有金属电极，金属电极表面设有湿度敏感薄膜层；其特征在于：所述金属电极上设有至少一个孔洞。本发明QCM湿度传感器的金属电极具有孔洞结构，可以在少量吸附水分子的条件下达到高灵敏度检测低湿度；同时传感器的稳定性很高；并且成本低、湿度检测范围大、灵敏度高、响应快、重复性好和制作工艺简单，可以广泛应用于低湿度检测和高精度湿度检测领域。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于自适应MRVM的滚动轴承故障概率性智能诊断方法

当前第 / 件

金花菌对栘叶化学成分的微生物转化及应用

同领域国内专利 · IPC: (G01N27_04)

G01N27_00 G01N27_02 G01N27_04 G01N27_06 G01N27_07 G01N27_08 G01N27_10 G01N27_12 G01N27_18 G01N27_22 G01N27_24 G01N27_26 G01N27_27 G01N27_28 G01N27_30 G01N27_31 G01N27_32 G01N27_327 G01N27_333 G01N27_36 G01N27_38 G01N27_403 G01N27_406 G01N27_407 G01N27_409 G01N27_414 G01N27_416 G01N27_42 G01N27_44 G01N27_447 G01N27_453 G01N27_48 G01N27_49 G01N27_60 G01N27_61 G01N27_62 G01N27_626 G01N27_64 G01N27_66 G01N27_72 G01N27_74 G01N27_80 G01N27_82 G01N27_83 G01N27_84 G01N27_85 G01N27_90 G01N27_9013 G01N27_904 G01N27_9093 G01N27_92 覆盖51个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：23 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)