发明专利已授权

一种透明导电薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN202010066357.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-01-20

申请人

韶关学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01B1_08

IPC 分类号

H01B1_08 , H01B5_14 , H01B13_00 ,

技术画像

所属领域

透明导电薄膜透明导电薄膜导电薄膜材料薄膜沉积工艺

应用场景

触控显示屏, 太阳能电池, 智能玻璃, 柔性电子, 发光显示器件

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摘要

本发明涉及一种透明导电薄膜，所述透明导电薄膜由若干层氧化钛薄膜与若干层氧化钽薄膜交替叠加而成，其中氧化钛与氧化钽的比例为10：1‑30：1。本技术方案所述的透明导电薄膜电阻率低，性能优良，为一种全新的金属氧化物透明导电薄膜材料。本发明还包括一种透明导电薄膜的制备方法，使用原子层沉积法，在若干层氧化钛薄膜上叠加若干层氧化钽薄膜为一个循环，进行若干次所述循环后便得到所述透明导电薄膜。使用原子层沉积法可以在低温下实现金属氧化物膜的沉积，可以通过沉积的层数精确控制金属氧化物之间的比例，可以通过循环次数精确控制薄膜厚度，且具有良好的均匀性及重现性，可以稳定的进行大面积沉积，并得到质量稳定的导电薄膜。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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