发明专利已授权

用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置

📄 申请号：CN202111458343.9 📄 发布日：2026/08/03

著录项目信息

申请日

2021-12-02

公开号

CN116223571A

公开日

2023-06-06

申请人

南通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_04

IPC 分类号

G01N27_04

技术画像

所属领域

传感器芯片湿度传感器传感器芯片

应用场景

半导体芯片制造, 湿度传感器生产, 智能传感器制造, 工业自动化, 环境监测

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摘要

一种用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置，包括用于容置矩形衬底的腔体，腔体内部相对设置有第一雾化喷嘴和第二雾化喷嘴；第一雾化喷嘴和第二雾化喷嘴分别用于交替脉冲式雾化喷射第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料；第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料的电阻率敏感依赖于环境湿度；第一雾化喷嘴用于向矩形衬底脉冲式雾化喷射第一湿度敏感材料，衬底上沉积的第一湿度敏感材料的分布密度逐渐降低；第二雾化喷嘴用于向矩形衬底脉冲式雾化喷射第二湿度敏感材料，衬底上沉积的第二湿度敏感材料的分布密度逐渐降低。第一雾化喷嘴、第二雾化喷嘴、第一射流式雾化器、第二射流式雾化器均为固定设置，避免了制造装置容易疲劳损坏的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种透明混凝土透光带采光的预制外墙墙板

当前第 / 件

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¥12000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：22 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 季诚李秀芳

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

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