发明专利已授权

一种双通道大气压微波等离子体射流装置

📄 申请号：CN202210561875.3 📄 发布日：2026/07/29

著录项目信息

申请日

2022-05-23

公开号

CN114867180B

公开日

2024-12-17

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05H1_46

IPC 分类号

H05H1_46

技术画像

所属领域

微波等离子体技术微波等离子体技术等离子体射流等离子体设备

应用场景

表面改性, 材料处理, 杀菌消毒, 微电子制造, 环境治理

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摘要

本发明公开了一种双通道大气压微波等离子体射流装置，属于大气压微波等离子体射流应用领域；其包括双通道同轴谐振器、脉冲调制微波电源和气路输入。双通道同轴谐振器由气体管道、大同轴腔和小同轴腔、SMA接口、腔体螺纹接口、空心同轴线组成。脉冲调制微波电源的微波能量由微波信号发生器产生，经功率放大器、定向耦合器传输至微波功率输出接口。气路输入包括气体储存瓶、减压阀、针阀和气体流量计，针阀和气体流量计可以控制工作气体的输入流量大小。本发明能够分离工作气体，实现等离子体射流中活性粒子的时空分布调节，并且产生的活性粒子密度大，可以有效地调节等离子体射流的温度，增大了微波等离子体射流的使用范围。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种交直流增强放电等离子体空气净化器

当前第 / 件

一种熔融高炉渣制渣棉收集装置

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