实用新型已授权

方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备

📄 申请号：CN202422700991.6 📄 发布日：2026/07/13

著录项目信息

申请日

2024-11-06

公开号

CN223300572U

公开日

2025-09-05

申请人

苏州中芯微纳传感科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_12

IPC 分类号

B08B3_12 , C30B33_00 , C30B29_20 , B08B13_00 , F26B21_00 ,

技术画像

所属领域

气敏传感器制造设备气敏传感器制造设备薄膜沉积设备沉积厚度调节

应用场景

气体检测, 环境监测, 工业安全, 传感器制造, 薄膜制备

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摘要

本实用新型公开一种方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备，包括超声波清洗机，所述超声波清洗机上开设有清洗槽，所述清洗槽的内部设置有放置篮，所述放置篮的内部放置有固定吹干机构，所述固定吹干机构包括底板，所述底板顶端的两侧均固定有支撑块，两个支撑块的顶端均设置有两个固定管，两个支撑块相对的一侧均开设有风槽，可以通过辅助把手将下压板提拉上升，并且将单晶氧化铝衬底放置于底板上，松开下压板，下压板自动对单晶氧化铝衬底进行下压固定，当固定吹干机构放置于清洗液中时，超声波清洗不会使单晶氧化铝衬底产生翻滚，导致单晶氧化铝衬底之间相互碰撞造成损坏。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

气敏传感器

当前第 / 件

一种小区道路养护用的洒水装置

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