实用新型已授权

带有保护材料层结构的MEMS气敏传感器基底

📄 申请号：CN202420689723.6 📄 发布日：2026/07/13

著录项目信息

申请日

2024-04-07

公开号

CN222420071U

公开日

2025-01-28

申请人

苏州中芯微纳传感科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01N27_00

IPC 分类号

G01N27_00

技术画像

所属领域

气敏传感器微机电系统气体传感器薄膜材料气敏传感器

应用场景

环境监测, 工业安全, 智能家居, 汽车电子, 空气质量检测

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摘要

本实用新型公开一种带有保护材料层结构的MEMS气敏传感器基底，包括基底组块和连接块，所述基底组块的两侧外壁上均开设有插槽，所述插槽包括抵接端、水平部分、倾斜部分和边缘端，所述边缘端靠近基底组块的侧边部分，所述抵接端与边缘端相对分布，所述水平部分位于插槽的顶端，所述倾斜部分位于插槽的底端，所述连接块与插槽配合，所述基底组块和连接块均设置为多个，相邻两个基底组块之间通过连接块组装拼接。该带有保护材料层结构的MEMS气敏传感器基底，通过将传感器基底设置为由一个或多个基底组块组成，可以根据传感器大小随时拼装不同大小的气体传感器基底，操作便捷，同时能降低设备使用成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

MEMS气敏传感器基底层结构

当前第 / 件

氧化钒纳米管气敏传感器

同领域国内专利 · IPC: (G01N27_00)

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