发明专利已授权

一种微电子器件除尘装置

📄 申请号：CN201810979483.2 📄 发布日：2026/06/22

著录项目信息

申请日

2018-08-23

申请人

安徽星宇生产力促进中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B5_02

IPC 分类号

B08B5_02 , B08B1_00 , B08B15_04 , H05F3_06 ,

技术画像

所属领域

微电子器件微电子器件除尘装置清洁技术

应用场景

半导体制造, 微电子封装, 精密仪器维护, 洁净室除尘

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摘要

本发明公开了一种微电子器件除尘装置，包括矩形盒，所述矩形盒的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒，所述锥形盒的内壁上焊接有空心圆柱，所述空心圆柱的两侧分别固定安装有离子发生器和吸尘器，所述锥形盒的内壁上焊接有圆形板，所述矩形盒的两侧内壁上焊接有同一个横板。本发明结构简单，离子发生器可以产生离子风并通过离子风枪吹向微电子器件的表面，毛刷可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉，同时吸尘器通过吸尘头和吸尘盒将灰尘吸走，使得离子风枪可以集中且近距离将离子风吹到微电子器件的表面上，除静电的效果好，且吸尘头可以近距离的吸走毛刷和离子风枪从微电子器件清除的灰尘，可以及时将灰尘吸走，避免二次污染，使用方便。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200417

✅ 授权

20190212

?? 实质审查的生效：

20190111

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：83 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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