发明专利已授权

角度误差不敏感的激光干涉直线度与位移同时测量装置

📄 申请号：CN202310117930.4 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2023-02-15

公开号

CN116182715B

公开日

2026-03-10

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02 , G01B11_27 , G01B9_02055 ,

技术画像

所属领域

测量装置激光干涉测量精密测量技术光学测量仪器测量装置

应用场景

精密制造, 机床误差测量, 位移计量, 自动化产线检测, 科研计量校准

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摘要

本发明公开了一种角度误差不敏感的激光干涉直线度与位移同时测量装置。包含干涉光路部分和测量组镜部分，测量组镜部分中渥拉斯顿棱镜、角锥棱镜和分光棱镜组成移动测量镜，该测量镜移动时，产生含有不同多普勒频差的两路测量光束，经两个光电探测器接收输出两路测量信号，与双频激光器输出的参考信号一起经信号处理板和计算机处理后，得到被测对象的直线度误差与位移。本发明通过渥拉斯顿棱镜、角锥棱镜和分光棱镜的组合，在一套激光干涉装置中实现了直线度与位移的同时测量，利用渥拉斯顿棱镜和角锥棱镜作为测量镜对转角误差不敏感的特点，降低了被测对象转角误差对直线度误差和位移测量结果的影响，提高了测量精度和稳定性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

仿“宣纸”结构的偕胺肟化MXene多孔纤维膜吸附材料的制备及提铀方法

当前第 / 件

一种连续二维编制网管CGFRP混杂筋及其制备方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：71 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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