发明专利已授权

一种柔性抛光粒子磁性排布抛光盘的制作方法

📄 申请号：CN201910137045.6 📄 发布日：2026/06/04

著录项目信息

申请日

2019-02-22

公开号

CN109759966B

公开日

2023-07-28

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24D18_00

IPC 分类号

B24D18_00

技术画像

所属领域

抛光工具抛光工具磁性研磨精密加工

应用场景

精密抛光, 半导体晶圆抛光, 光学元件加工, 金属表面处理, 模具抛光

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摘要

本发明公开了一种柔性抛光粒子磁性排布抛光盘的制作方法，该柔性抛光粒子磁性排布抛光盘包括一金属盘和抛光粒子，抛光粒子通过磁化后的金属盘在上述凹槽处产生的漏磁现象吸附连接于上述凹槽内。本发明通过磁力吸附抛光粒子，能很好的保持了抛光粒子的形态，不会破坏抛光粒子；当撤去外加磁场时，吸附力消失，能有效的实现抛光粒子的回收和二次利用，极大的降低了抛光成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230728

✅ 授权

20190611

?? 实质审查的生效：

20190517

📄 公开

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