实用新型已授权

一种蚀刻清洗机

📄 申请号：CN202023127044.0 📄 发布日：2026/05/29

著录项目信息

申请日

2020-12-23

公开号

CN214918541U

公开日

2021-11-30

申请人

苏州普汇达电子科技有限公司,顾叶锋

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_02

IPC 分类号

B08B3_02 , B08B13_00 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备清洗设备湿法工艺设备

应用场景

半导体制造, 集成电路, 晶圆加工, 电子元器件清洗

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摘要

本实用新型公开了一种蚀刻清洗机，包括箱体、工作台、底座、夹持装置、喷洒装置、把手、转盘和驱动电机，所述箱体的下方设有工作台，所述工作台的下方设有储物槽，所述箱体的背部设有驱动电机，所述箱体的上方设有喷洒装置，所述喷洒装置包括水泵、分流管和喷头，所述箱体通过嵌合的方式连接柜门，所述柜门固定连接夹持装置，所述夹持装置固定连接转轴，所述转轴通过螺纹连接夹持板，所述夹持装置固定连接卡合块，在箱体的内部安装了夹持装置，主要的有益好处不仅可以通过漏孔的夹持装置固定电路板，便于清洁，而且抽拉式的夹持装置可以配合驱动电机旋转，调节清洗的角度，不仅提高了清洗部位的精准度，而且提高了此装置的清洗效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种干法自动蚀刻机

当前第 / 件

一种蚀刻机

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