发明专利已授权

一种透射电镜样品厚度的测量方法

📄 申请号：CN201911287503.0 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2019-12-14

公开号

CN110986802B

公开日

2021-01-15

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_06

IPC 分类号

G01B11_06 , G01N23_04 , G01N23_20 ,

技术画像

所属领域

电子显微镜电子显微镜材料表征图像分析

应用场景

材料科学, 纳米技术, 半导体检测, 科研实验, 生物样品分析

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摘要

本发明提供一种透射电镜样品厚度的测量方法，包括如下步骤：步骤一、建立孪晶面的第一模型；步骤二、建立孪晶面的第二模型；步骤三、通过将第一模型和第二模型组合获得孪晶面的第三模型；步骤四、将透射电镜样品放入电镜后，不倾转样品，采集所检测区域的明场图像和暗场图像，通过明场像和暗场像相结合的方式测量出孪晶面的投影宽度；步骤五、将透射电镜样品沿着平行于孪晶面的晶带轴倾转角度，采集步骤四中所述孪晶面在该工况下的投影宽度；步骤六、将步骤四中和步骤五中测量出的孪晶面的投影宽度均代入第三模型中，确定检测区域的样品厚度。本发明可快速精确的测量出透射电镜所检测区域的样品厚度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：85 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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