发明专利已授权

一种碳化硅表面化学机械复合加工方法

📄 申请号：CN202210086357.0 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2022-01-25

公开号

CN114406825B

公开日

2023-06-27

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B7_22

IPC 分类号

B24B7_22 , B24B41_06 , B24B7_04 , B24B7_06 , H01L21_306 ,

技术画像

所属领域

化学机械抛光化学机械抛光碳化硅加工精密加工技术

应用场景

半导体制造, 功率器件, 晶圆加工, 精密机械加工, 光学元件加工

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开一种碳化硅表面化学机械复合加工方法，包括以下步骤：先将磨抛工具和碳化硅分别安装在磨抛设备的机台上，所述磨抛工具包括复合而成的活性金属和磨粒，然后在外力作用下将碳化硅压向磨抛工具的表面，最后使得高速转动的磨抛工具与碳化硅发生相对运动，进而产生高速摩擦并诱导活性金属与碳化硅发生化学反应，再以磨粒与碳化硅间的机械作用去除反应层，从而形成化学‑机械复合循环的加工方式，实现碳化硅的表面研磨与抛光。本发明通过化学反应与机械去除相结合的方式，对碳化硅的去除率高，且能够得到近无损伤的碳化硅表面，实现碳化硅的高效高质去除，为碳化硅的高效精密加工提供了新的思路。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种大分子-金属络合物在可逆捕集氨气中的应用

当前第 / 件

关于钻针折断力及弯曲疲劳的测试装置及其测试方法

同领域国内专利 · IPC: (B24B7_22)

B24B7_00 B24B7_02 B24B7_04 B24B7_06 B24B7_07 B24B7_08 B24B7_10 B24B7_12 B24B7_14 B24B7_16 B24B7_17 B24B7_18 B24B7_19 B24B7_20 B24B7_22 B24B7_24 B24B7_28 B24B7_30 覆盖18个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：88 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种碳化硅表面化学机械复合加工方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B24B7_22)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种碳化硅炉及其焊接工艺

一种树脂玻璃专用修复抛光装置

一种工件内圈抛光设备

服务项目

资源中心

关于柿子坊