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一种碳化硅表面化学机械复合加工方法

Name: 一种碳化硅表面化学机械复合加工方法
Brand: 华侨大学
SKU: 2022100863570
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210086357.0 📄 发布日：2026/09/04

著录项目信息

申请日

2022-01-25

公开号

CN114406825B

公开日

2023-06-27

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B7_22

IPC 分类号

B24B7_22 , B24B41_06 , B24B7_04 , B24B7_06 , H01L21_306 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造, 功率器件, 晶圆加工, 精密机械加工, 光学元件加工

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摘要

本发明公开一种碳化硅表面化学机械复合加工方法，包括以下步骤：先将磨抛工具和碳化硅分别安装在磨抛设备的机台上，所述磨抛工具包括复合而成的活性金属和磨粒，然后在外力作用下将碳化硅压向磨抛工具的表面，最后使得高速转动的磨抛工具与碳化硅发生相对运动，进而产生高速摩擦并诱导活性金属与碳化硅发生化学反应，再以磨粒与碳化硅间的机械作用去除反应层，从而形成化学‑机械复合循环的加工方式，实现碳化硅的表面研磨与抛光。本发明通过化学反应与机械去除相结合的方式，对碳化硅的去除率高，且能够得到近无损伤的碳化硅表面，实现碳化硅的高效高质去除，为碳化硅的高效精密加工提供了新的思路。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN114406825B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：32 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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