发明专利 已授权

一种用于制备抛光垫的可图案化自动涂覆刮膜装置

📄 申请号:CN202510153341.0 📄 发布日:2026/09/04

著录项目信息

申请日
2025-02-12
公开号
CN119609961B
公开日
2025-07-15
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

抛光垫制造, 半导体化学机械抛光, 精密制造, 自动化产线, 材料表面加工

摘要

本发明提供了一种用于制备抛光垫的可图案化自动涂覆刮膜装置,涉及抛光垫设备技术领域。包括:搅拌装置、加料装置、支撑装置、磁吸转盘装置、滚轴刮刀装置和废料收集装置。通过本方案可进行图案化设计的抛光垫磨料涂覆装置,在保证磨料涂覆定量定速滴加的同时,可保证磨料层的图案化、均匀性和平整性,从而提高抛光垫的制作效率,丰富制作的种类,拓展其应用领域。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN119609961B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B24D11_00)

B24D11_00 B24D11_02 覆盖2个领域
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:31 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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