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发明专利
已授权
在透射电子显微镜下快速精确测量小角晶界取向差的方法
📄 申请号:CN201710146128.2
📄 发布日:2026/05/07
著录项目信息
申请日
2017-03-13
申请人
燕山大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N23_20
IPC 分类号
G01N23_20
技术画像
所属领域
透射电子显微镜
透射电子显微术
晶体取向分析
材料表征与测试
电子显微镜
透射电子显微镜
应用场景
材料微观结构分析, 晶体缺陷表征, 材料失效分析, 半导体器件研发
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摘要
本发明涉及一种在透射电子显微镜下快速精确测量小角晶界取向差的方法。该方法包含两个部分:第一、利用透射电镜双倾技术采集晶粒特定菊池线;第二、提出一种计算相邻晶粒之间取向差的新方法。步骤为:使用双倾样品杆把待测区域的中心晶粒倾转到特定的晶带轴,并采集该晶粒的菊池线;然后在相同的条件下采集与之相邻的晶粒的菊池线,叠加采集的菊池线,测量参数;最后采用公式cosΘ=(cosγ+cosγcosθ+cosθ‑1)/2计算晶粒之间的位向差。本发明具有操作简单、计算便捷、精度高等优点。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20190222
✅ 授权
20170630
?? 实质审查的生效 :
20170606
📄 公开
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📌 交易状态:
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