发明专利 已授权

一种透射电子显微镜检测区域的定位方法

📄 申请号:CN201710422258.4 📄 发布日:2026/09/04

著录项目信息

申请日
2017-06-07
申请人
燕山大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

所属领域

应用场景

材料微观结构分析, 半导体器件检测, 生物样品观察, 纳米材料表征, 失效分析

摘要

一种透射电子显微镜检测区域的定位方法,其主要是:将标记好的样品放入配有侧插式样品台的透射电子显微镜样品杆,确保样品上标记的直线平行于样品杆的轴向方向。样品检测时,每完成一个检测区域的数据采集工作时,需记录样品杆参数:X、Y、Z、α、β,其中X、Y、Z为正在检测区域的坐标值,α、β为此时样品杆的两个倾转角。对于需要补充数据的检测区域,根据记录的样品杆参数:X、Y、Z、α、β,采用下式计算得出其目前坐标X0、Y0:其中X0、Y0为再次检测时上次检测区域此时的坐标值,根据X0、Y0坐标找到指定区域。本发明不需要添加硬件设备,操作简单,易行;而且计算简单,易于编程实现;可用于透射电子显微镜样品再次检测时定位之前检测的区域。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20190910
✅ 授权
20171114
?? 实质审查的生效 :
20171017
📄 公开
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:21 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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