发明专利已授权

一种制备薄膜光栅的装置及方法

📄 申请号：CN202110941988.1 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2021-08-17

公开号

CN113640907B

公开日

2022-10-28

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B5_18

IPC 分类号

G02B5_18

技术画像

所属领域

光学器件光学器件微纳加工薄膜技术

应用场景

光通信, 光谱分析, 激光器, 光学传感, 显示技术

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摘要

本发明涉及一种制备薄膜光栅的装置及方法，属于光栅制备技术领域，所述装置包括夹持薄膜两端的夹持机构，夹持机构之间固定设置两根限位柱，且限位柱与薄膜的一侧相切，薄膜的另一侧、垂直于薄膜的方向上设置应力施加机构，夹持机构、限位柱和应力施加机构均设置于作业平台上；所述方法为制备薄膜后通过应力施加件对其施加应力，再利用等离子体处理技术对薄膜进行处理后缓慢释放应力，制备得到薄膜光栅。本发明的制备装置结构简单，易于实现，可以一次性将多根薄膜安装在有多个限位槽的薄膜夹具中，采用一个阶梯状应力施加件，实现同时制备多根不同周期和振幅的光栅，适用于大批量制备多周期和振幅薄膜光栅。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

金属粉末烧结与原位挤压一体设备及烧结挤压复合工艺

当前第 / 件

一种高频链互联的无电解电容MMC拓扑结构及控制策略

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：79 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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