发明专利 已授权

一种油基热敏活性研磨液及微波辅助固结磨料研磨方法

📄 申请号:CN202311501800.7 📄 发布日:2026/05/07

著录项目信息

申请日
2023-11-10
公开号
CN117551424B
公开日
2025-07-25
申请人
燕山大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体晶圆研磨, 光学元件抛光, 硬脆材料精密加工, 金属表面精加工, 精密机械零件加工

摘要

本发明公开了一种油基热敏活性研磨液及微波辅助固结磨料研磨方法,油基热敏活性研磨液,包括以下组分:丙二醇的质量百分数为0.5%~5%,三乙醇胺的质量百分数为0.5%~5%,热敏氧化剂的质量百分数为1%~10%,余量为植物油。微波诱导热敏活性研磨液中热分解型引发剂分解产生强化学活性的自由基,快速对机械力作用下的硬脆材料进行化学改性,促进基体表面产生一层相对更软的改性层;微波加热作用下,热敏活性研磨液作为传导介质将热量传递到待加工工件表面,提高工件表层改性层材料的塑性变形能力;金刚石固结磨料磨盘机械去除被微波加热软化的工件表层材料,低硬度的改性层破碎、层状剥落,快速暴露的新生面被进一步改性和去除,获得高的加工效率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C09K3_14)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:67 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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