发明专利已授权

制备微透镜球面阵列的方法及系统

📄 申请号：CN202510230440.4 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2025-02-28

公开号

CN119717089A

公开日

2025-03-28

申请人

泉州信息工程学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B3_00

IPC 分类号

G02B3_00 , G03F7_00 ,

技术画像

所属领域

微纳制造微纳制造光学元件加工精密加工技术

应用场景

消费电子, 光学成像, 光通信, 显示技术, 生物医学成像

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摘要

本申请提供了一种制备微透镜球面阵列的方法及系统，方法包括：在硅片的正面旋涂第一光刻胶；对第一光刻胶进行曝光显影得到多个局部胶柱阵列，每一局部胶柱阵列包括多个局部胶柱；根据多个局部胶柱阵列，对正面进行刻蚀得到多个局部硅柱阵列，每一局部硅柱阵列包括多个局部硅柱；在正面涂敷第二光刻胶；利用光刻工艺和套刻工艺将第二光刻胶覆盖在多个局部硅柱阵列靠近正面的一面得到微透镜胶柱阵列，微透镜胶柱阵列包括多个微透镜胶柱，每一微透镜胶柱覆盖于相应局部硅柱阵列的多个局部硅柱；对微透镜胶柱阵列进行加热，以使多个微透镜胶柱软化成型得到微透镜球面阵列。本申请通过控制形成的局部硅柱阵列，可控制微透镜球面阵列接触角的大小。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

海上油污清理船、以及海上油污清理方法

当前第 / 件

基于超固结比解决路基差异沉降的方法

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