发明专利已授权

一种基于像栅的直线位移测量系统及测量方法

📄 申请号：CN202210024968.2 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2022-01-11

公开号

CN114199138B

公开日

2025-04-08

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02

技术画像

所属领域

测量系统位移传感器光学测量精密测量测量系统

应用场景

工业自动化, 精密加工, 机床测量, 半导体设备, 机器人定位

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摘要

本发明涉及一种基于像栅的直线位移测量系统及测量方法，该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本发明提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：57 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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