摘要
本发明提供归一化光强的共焦差动测量有效区域的三维形貌还原方法,包括:采用相机拍摄焦面图像、焦前图像和焦后图像;对焦面图像的灰度值进行归一化处理,得到归一化图像;提取归一化图像与共聚焦轴向响应曲线对应的有效测量区域,得到有效测量模板,将有效测量模板分别与焦前图像、焦后图像进行掩膜提取,得到有效焦前图像、有效焦后图像;将有效焦前图像、有效焦后图像进行作差,利用差动共焦测量曲线,实现共聚焦差动测量有效测量区域三维还原;本发明方法将共聚焦成像轴向光强曲线和共聚焦差动曲线进行结合,有效的解决了视场中隶属于差动测量范围内的区域提取,实现了真实三维信息的还原。