发明专利已授权

一种并行彩色共焦差动测量的反射率不均消除系统及方法

📄 申请号：CN202211336692.8 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2022-10-28

公开号

CN115540782B

公开日

2025-07-01

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_24

IPC 分类号

G01B11_24

技术画像

所属领域

光学测量光学测量共焦显微技术差动测量

应用场景

精密制造检测, 半导体检测, 表面形貌测量, 薄膜厚度测量, 工业在线检测

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摘要

本发明涉及一种并行彩色共焦差动测量的反射率不均消除系统及方法，属于共焦测量技术领域。该系统包括：复色光源、准直透镜、数字微镜器件、第一分光透镜、色散管镜、物镜、载物模块、第二分光透镜、第一滤光转盘、第一滤光片、第一聚焦透镜、焦前相机、第三分光透镜、第二滤光转盘、第二滤光片、第二聚焦透镜、焦面相机、第三滤光转盘、第三滤光片、第三聚焦透镜、焦后相机和处理单元。基于该并行彩色共焦测量的反射率不均消除系统，通过反射率为乘性的特性，利用焦面光谱信息消除被测物体对不同波长反射率不同的影响，去除了并行彩色共焦差动测量过程中因不同波段导致的反射率各异因此的测量误差问题，极大提高了测量的准确性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种单目窄带多波段共焦成像系统

当前第 / 件

一种臭氧强化石墨氮掺杂石墨烯催化材料及其制备方法

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_24)

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