实用新型已授权

一种半导体阀门密封面冲洗机构

📄 申请号：CN202221568936.0 📄 发布日：2026/04/20

著录项目信息

申请日

2022-06-22

公开号

CN217451211U

公开日

2022-09-20

申请人

江苏阀邦半导体材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_02

IPC 分类号

B08B3_02 , B08B13_00 ,

技术画像

所属领域

冲洗机构半导体设备阀门密封流体冲洗冲洗机构

应用场景

半导体制造, 晶圆加工设备, 气体管路系统, 真空设备, 洁净室

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摘要

本实用新型提供一种半导体阀门密封面冲洗机构，包括阀体、密封不锈钢环板、橡胶密封圈、冲洗流道、密封接头、冲洗水管、中心流腔以及冲洗喷孔，阀体内部竖向安装有阀板，阀板右侧安装有阀杆，阀杆上端安装有手柄，阀体环形侧面上侧安装有阀座，阀板环形侧面内部嵌装有橡胶密封圈，阀体内环形侧面左侧安装有密封不锈钢环板，密封不锈钢环板内部开设有中心流腔，中心流腔右侧开设有冲洗喷孔，阀体内部环形侧面下侧内部开设有冲洗流道，冲洗流道下侧安装有密封接头，密封接头下侧安装有冲洗水管，该设计能够对阀座密封面进行均匀全面的冲洗，冲洗效果好，保证冲洗后的阀座密封面无结灰现象，保证阀门的密封性能，延长阀门使用寿命。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体阀门球体加工装置

当前第 / 件

一种半导体阀门铸造用的浇铸生产装置

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