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专利详情
实用新型
已授权
一种片式集成电路材料退镀单元
📄 申请号:CN202223591257.8
📄 发布日:2026/04/16
著录项目信息
申请日
2022-12-28
公开号
CN219099374U
公开日
2023-05-30
申请人
东莞市研尔化工科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
C25D21_08
IPC 分类号
C25D21_08
,
C25D21_00
,
C25D17_00
,
技术画像
所属领域
集成电路制造
集成电路制造
湿法蚀刻
表面处理
应用场景
集成电路制造, 半导体工艺, 电子材料回收, 晶圆制造, 芯片封装
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摘要
本申请涉及一种片式集成电路材料退镀单元,涉及一种电镀生产设备,其包括安装架、沿安装架长度方向间隔设置的若干传送辊组件;相邻所述传送辊组件之间设置有清洗组件;每一所述传送辊组件包括上传送辊和下传送辊;所述清洗组件包括上出水管和下出水管,所述上出水管和下出水管均设置有若干朝向相邻传送辊组件的喷头,所述安装架的一端设置有烘干组件。本申请具有减少对操作人员的健康危害的效果。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种汽车保护车轮罩生产夹具
当前第 / 件
一种陶瓷基电路板生产打磨用的夹具
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C25D21_00
C25D21_02
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C25D21_20
覆盖
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未申报
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