实用新型已授权

一种蚀刻液喷液组件

Name: 一种蚀刻液喷液组件
Brand: 珠海伟之华新材料有限公司
SKU: 2023217062067
Availability: InStock

📄 申请号：CN202321706206.7 📄 发布日：2026/04/13

著录项目信息

申请日

2023-06-30

公开号

CN220012817U

公开日

2023-11-14

申请人

珠海伟之华新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23F1_08

IPC 分类号

C23F1_08

技术画像

所属领域

蚀刻设备蚀刻设备湿法蚀刻喷液装置

应用场景

半导体制造, 显示面板制造, 印刷电路板制造, 微电子加工

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摘要

一种蚀刻液喷液组件，包括有安装座，所述安装座上设置有用于放置加工件的操作台，所述安装座上设置有移动架，所述移动架的下端设置有多个连接块，每个连接块内设置有调节结构，所述调节结构上连接有雾化喷嘴，所述调节结构用于调整雾化喷嘴喷射出雾状液体；所述安装座上设置有驱动组件，所述驱动组件可驱动移动架相对于安装座在水平方向上移动，以使雾化喷嘴喷射雾状蚀刻液在加工件上。相比现有技术的蚀刻液喷淋方式，本申请的移动架上通过连接块连接有雾化喷嘴，移动架在驱动组件的作用下可相对于安装座移动带动雾化喷嘴在加工件的上方移动，将雾状蚀刻液均匀喷淋在加工件上，有效避免了蚀刻液聚集在加工件上造成蚀刻过度的问题。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN220012817U

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：105 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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