发明专利 已授权

一种角向径向关联光源实现超分辨的装置

📄 申请号:CN202210579288.7 📄 发布日:2026/08/03

著录项目信息

申请日
2022-05-25
公开号
CN114815282B
公开日
2023-12-29
申请人
中国计量大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

超分辨显微镜, 生物医学成像, 半导体检测, 光刻成像, 光存储

摘要

本发明公开了一种角向径向关联光源实现超分辨率的装置。实施步骤是:利用计算机制备一组全息图并加载到空间光调制器,每张全息图以相同的时间间隔在液晶屏上动态重复播放;激光经过空间光调制器调制产生角向径向关联光束后反射,选取反射光束的正一级衍射光并作为光源照射两个物点小孔,透射光经过成像系统后在CCD相机上得到两小孔的成像清晰度;改变角向径向关联光束的角向和径向参数,产生出一组新的数字全息图,直到获得可以实现超分辨成像的最佳参数。本发明所提供的装置通过控制数字全息图可以产生角向径向关联光束,这种光源能够通过参数δu和参数L独立地非耦合地调控探测端光束的角向和径向相干度,从而实现具有角向或径向特征的物体进行分维度的扫描式超分辨成像。而且本装置只有一个激光器和一个空间光调制器,光路搭建简单易操作。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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