实用新型已授权

一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源

📄 申请号：CN202120579197.4 📄 发布日：2026/03/26

著录项目信息

申请日

2021-03-22

公开号

CN215121655U

公开日

2021-12-10

申请人

四川省海创电气有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H05K7_20

IPC 分类号

H05K7_20 , H05K5_02 , H02M1_00 , H02M9_00 , C23C14_35 ,

技术画像

所属领域

脉冲功率电源脉冲功率电源磁控溅射电源电力电子变换器

应用场景

真空镀膜, 表面涂层, 半导体制造, 光学薄膜制备

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型属于磁控溅射电源技术领域，尤其为一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源，针对在现有技术中的磁控溅射电源在工作时，散热效果差，降低了磁控溅射电源的使用寿命的问题，现提出如下方案，其包括壳体，所述壳体的底部内壁上固定安装有磁控溅射电源本体，所述壳体的后侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴延伸至壳体内并固定安装有圆盘，所述圆盘的前侧固定焊接有连接轴，所述连接轴的外侧活动套设有矩形框架，所述矩形框架的底部固定安装有齿条。本实用新型结构设计合理，可以有效的对磁控溅射电源吹风散热，并且可以对磁控溅射电源本体工作时散发的热量排出，有效的提高了其散热效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种真空镀膜机腔体的水冷装置

当前第 / 件

一种具有屏蔽功能的高频变压器

同领域国内专利 · IPC: (H05K7_20)

H05K7_00 H05K7_02 H05K7_06 H05K7_12 H05K7_14 H05K7_18 H05K7_20 覆盖7个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：91 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)