实用新型已授权

一种半导体芯片生产用的石墨坩埚

📄 申请号：CN202420103272.3 📄 发布日：2026/03/18

著录项目信息

申请日

2024-01-16

公开号

CN221626449U

公开日

2024-08-30

申请人

丹东锐芯微电子有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B35_00

IPC 分类号

C30B35_00

技术画像

所属领域

坩埚半导体制造设备石墨材料晶体生长设备坩埚

应用场景

半导体芯片制造, 晶体生长, 集成电路制造

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摘要

本实用新型适用于石墨坩埚技术领域，提供了一种半导体芯片生产用的石墨坩埚，包括：第一石墨坩埚本体和第二石墨坩埚本体，所述第一石墨坩埚本体位于第二石墨坩埚本体的上方，且第一石墨坩埚本体和第二石墨坩埚本体一体压铸成型；开设于所述第一石墨坩埚本体顶部的倒液槽；设于所述第二石墨坩埚本体内部底部中央位置处的石墨棒；通过石墨棒、凹槽和蜂窝孔的设置，可以将第二石墨坩埚本体底部的火焰进行聚集并将热量传导至第一石墨坩埚本体和第二石墨坩埚本体的内部中央位置处，使得第一石墨坩埚本体和第二石墨坩埚本体内的原料在中间和外围同步受热，进而保证原料热熔的均匀，提高热熔的效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电梯门防夹装置

当前第 / 件

一种建筑工程用钢筋涂油机

同领域国内专利 · IPC: (C30B35_00)

C30B35_00 覆盖1个领域

议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：110 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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