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专利详情
实用新型
已授权
料盘装置和具有其的反应炉装置
📄 申请号：CN202322283395.8
📄 发布日：2026/07/16
著录项目信息
申请日
2023-08-24
公开号
CN220583114U
公开日
2024-03-12
申请人
新疆知信科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F27D5_00
IPC 分类号
F27D5_00
,
C01B21_068
,
技术画像
所属领域
料盘
半导体制造设备
半导体热处理设备
晶圆承载机构
料盘
应用场景
半导体制造, 集成电路制造, 光伏电池生产, LED芯片制备, 工业热处理
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摘要
本实用新型公开了一种料盘装置和具有其的反应炉装置，用于放置在反应炉内以承载物料，所述反应炉的底部设有转轴，所述料盘装置包括：支架，所述支架的下端设有连接部以用于与所述转轴固定连接，所述支架上设有滑动支座，所述滑动支座上设有多个间隔设置的滚动体；至少一个料盘，所述料盘的底壁设置于所述滚动体上，所述滚动体位于所述滑动支座与所述料盘之间，所述料盘相对于所述滚动体可移动。根据本实用新型实施例的料盘装置，通过转轴转动支架，能够带动硅粉颗粒抖动，使料盘上的硅粉反应均匀和充分，同时能够均匀温场和流场，提高反应效率，改善氮化硅粉的质量。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
吹扫装置和具有其的白炭黑系统
当前第 / 件
密封型电气柜的半包围式降温装置及降温方法
同领域国内专利 · IPC: (F27D5_00)
F27D5_00
覆盖
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