发明专利已授权

一种多表面干涉测量中腔长反算算法

📄 申请号：CN202211029024.0 📄 发布日：2026/07/13

著录项目信息

申请日

2022-08-26

公开号

CN115615351B

公开日

2025-07-25

申请人

湖州师范学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_24

IPC 分类号

G01B11_24 , G01B11_25 , G06F17_14 , G06F17_18 , G06F18_15 ,

技术画像

所属领域

干涉测量干涉测量光学精密测量测量算法

应用场景

光学元件检测, 精密制造, 半导体检测, 表面形貌测量

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摘要

本发明公开了一种一种多表面干涉测量中腔长反算算法，该算法包括一个频峰独立采样的方法、一个频率采样折叠腔长反算方法、一个头部周期腔长反算方法。通过对多次不同采样下得到的光强数据进行分析，可以精确地对多表面测量中各干涉谐波的腔长进行反算，该算法容易实现，技术难度较低，方式新颖，计算精度高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种自适应谐波抗混叠的波长移相采样算法

当前第 / 件

一种转盘式快递分拨设备

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_24)

G01B11_00 G01B11_02 G01B11_03 G01B11_04 G01B11_06 G01B11_08 G01B11_12 G01B11_14 G01B11_16 G01B11_22 G01B11_24 G01B11_245 G01B11_25 G01B11_255 G01B11_26 G01B11_27 G01B11_275 G01B11_28 G01B11_30 覆盖19个领域

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