实用新型已授权

一种单晶炉用主炉室腔体

📄 申请号：CN202322211669.2 📄 发布日：2026/06/29

著录项目信息

申请日

2023-08-17

公开号

CN220788878U

公开日

2024-04-16

申请人

浙江奔博精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B27_02

IPC 分类号

C30B27_02 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

单晶炉晶体生长设备半导体制造设备炉室腔体结构单晶炉

应用场景

单晶硅制备, 半导体材料生产, 光伏硅片制造, 晶体生长

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摘要

本实用新型的一种单晶炉用主炉室腔体，涉及单晶炉主炉室结构领域，包括主炉室本体，主炉室本体顶端安装有阀盖，且主炉室本体的内部中上方转动安装有石墨坩埚本体，石墨坩埚本体的底端中部位置连接有传动连轴、传动连轴与固定在底座上的电机传动连接，所述石墨坩埚本体的内部下方轴心位置固定安装着内桶，内桶的下部由筛网构成，石墨坩埚本体内壁固定着螺旋上料叶片。本实用新型的一种单晶炉用主炉室腔体，在主炉室腔体内壁固定着螺旋叶片，加大料液搅拌流动幅度，提升料液受热均匀使用时间，同时螺旋叶片随着炉体的转动能够将料液向上提升至螺旋叶片顶部时通过挡板截断使得料液进入到内桶中再由底部的筛网流出，筛网对料液进行过滤，提升效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种单晶炉小炉盖

当前第 / 件

一种道路桥梁混凝土抗压性检测装置

同领域国内专利 · IPC: (C30B27_02)

C30B27_02 覆盖1个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：20 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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